Treoirlínte agus Réamhchúraimí maidir le Spriocanna Sputtering Miotail a Úsáid

- Oct 09, 2017-

Treoirlínte agus réamhchúraimí maidir le Spriocanna Sputtering Miotail a úsáid

Ar dtús, ullmhú sputtering

Tá sé an-tábhachtach an seomra folúis a choinneáil, go háirithe an córas sputtering glan. Bailíonn aon iarmhar a dhéanfaidh ola agus deannach agus réamh-sciathán iompair gal uisce agus truaillithe eile, rud a dhéanann difear go díreach ar an méid folúis chun an teip ar scannán a fháil agus a mhéadú. Spriocanna Sputtering Miotail Is minic a sháraíonn ciorcad gearr nó sprioc stua tosaithe, garbh dromchla scannáin agus neamhíonachtaí ceimiceacha mar gheall ar sheomra sputtering neamhghnácha, mar gheall ar an gunna agus an sprioc sputtering. D'fhonn comhdhéanamh na saintréithe sciath a choimeád ar bun, ní mór gás sputtering (argón nó ocsaigine) a bheith glan agus tirim, agus an seomra snáithín a chur isteach sa tsubstráit tar éis an gá a bhaint as an aer chun an próiseas folúntais riachtanach a bhaint amach. Ní mór na sciatháin, na ballaí cavity agus na dromchlaí in aice láimhe a choinneáil glan freisin. Le linn an seomra folúis a ghlanadh, molaimid go n-úsáidfí modh pléasctha lámhaigh liathróid ghloine chun déileáil le codanna salachar ag an am céanna le haer comhbhrúite a bhaint as an cuas timpeall an iarmhar réamh-sputtering, agus ansin páipéar páipéir tuilithe alúmana go réidh ar an dromchla den snasta. Tar éis snasta a dhéanamh ar an uige, sruthlaigh sé le halcól, Aicéatón Spriocanna Miotail Sputtering agus uisce deionized, agus moltar úsáid fholúsghlantach tionsclaíoch le haghaidh glantacháin chúnta.

ACHTANNA: Nuair a úsáideann tú an sprioc, coinnigh lámhainní cosanta glan agus gan chosaint agus seachain teagmháil dhíreach leis an sprioc

Dara, an sprioc a ghlanadh

Is é cuspóir an ghlanadh sprioc ná deannach nó salachar a bhaint amach a d'fhéadfadh a bheith i láthair ar dhromchla an sprioc.

Is féidir ceithre chéim a ghlanadh le spriocanna miotail,

An chéad chéim sa aicéatón sáithithe sa glan éadach saor in aisce;

Tá an dara céim cosúil leis an gcéad chéim le halcól;

Is é an tríú céim ná nigh le huisce deionized. Tar éis níocháin le huisce deionized, cuireadh an sprioc ansin in oigheann agus triomaíodh é ag 100 ° C ar feadh 30 nóiméad.

Glanadh an glanú sprioc ocsaíd agus ceirmeach le "éadach saor gan lint".

Céim 4 Tar éis an limistéar salach a bhaint amach, sreabhaíonn Spriocanna Sputtering Miotail an sprioc le hailmhín ag ardbhrú agus íseal taise chun na neamhíonachtaí go léir a d'fhéadfadh a bheith ina chúis le hairí sa chóras sputtering

Sa tríú háit, an spriocchlárúchán

Is é an rud is tábhachtaí le tabhairt faoi deara le linn an sprioc a shuiteáil ná a chinntiú go mbunaítear nasc teirmeach maith idir an sprioc agus an balla fuarú gunna sputtering. Má tá déineacht an bhalla fuaraithe dian nó go bhfuil lúbthacht an phláta ar ais déanach, scoilte nó lúbthachta nuair a bheidh an sprioc suite, agus beidh tionchar mór tagtha ar sheoltacht theirmeach an sprioc ar ais go dtí an sprioc, Spriocanna Sputtering Miotal a eascraíonn teas sa phróiseas sputtering Tabharfaidh an dáileadh tarraingt siar nó as sprioc mar thoradh ar an dáileadh

Chun seoltacht teirmeach leordhóthanach a chinntiú, is féidir sraith grafite a phacáil idir an balla fuaraithe catóide agus an sprioc. Bí cinnte go seiceálfar agus a shoiléiriú go cúramach an balla fuaraithe gunna sputtering a úsáidtear agus a chinntiú go bhfuil an fáinne O i gcónaí i riocht.

Mar gheall ar an méid glaineachta atá ag an uisce fuaraithe a úsáidtear agus an éilliú a d'fhéadfaí a dhéanamh ar an trealamh le linn oibriú an trealaimh, is gá an umar uisce fuaraithe catóide a iniúchadh agus a ghlanadh agus an sprioc á shuiteáil ionas go n-áiritheofar sreabhadh réidh an uisce fuaraithe agus an t-iontán agus an t-asraon Ní bheidh bac ar.

Tá cuid de na dearadh catóide níos lú leis an mbearna anóid, na Spriocanna Sputtering Miotail ionas go mbeidh gá leis an sprioc a shuiteáil chun a chinntiú nach féidir leis an gcóid agus an anóid a bheith i dteagmháil leis an seoltóir, ar shlí eile cuirfidh sé ciorcad gearr ar fáil.

Déan tagairt do threoracha an mhonaróra trealaimh le haghaidh faisnéise maidir le conas an sprioc a shuiteáil i gceart. Mura bhfuil an fhaisnéis seo agat sa lámhleabhar úsáideora, déan iarracht na moltaí a chuirtear ar fáil a leanúint. Nuair a dhéantar an spriocdháta a dhúnadh, déanfaidh sé an lámh a dhúnadh ar láimh, agus ansin déan an babhta eile a dhúnadh ar an trasnán, Spriocanna Sputtering Miotail a athdhéanamh amhlaidh go dtí go mbeidh na boltaí go léir á n-shuiteáil, agus ansin an t-uirlis a dhúnadh.