Déantar Spriocanna Sputtering Miotail a Úsáidte i dTionscail Leictreonacha agus Faisnéise

- Aug 11, 2017-

Úsáidtear Spriocanna Sputtering Miotail go príomha i dtionscail leictreonacha agus faisnéise, mar shampla ciorcaid comhtháite, stóráil faisnéise, taispeáint criostail leachtach, cuimhne léasair, feistí rialaithe leictreonacha, etc.; is féidir iad a úsáid i réimse na sciath gloine; is féidir iad a úsáid freisin in ábhair chaitheamh-resistant, soláthairtí maisiúla deiridh Ard agus tionscail eile.

Is féidir an cruth a roinnt ina sprioc fada, sprioc cearnach Spriocanna Sputtering Miotail, sprioc cruinn, sprioc múnlaithe

Is féidir leis an gcomhdhéanamh a roinnt ina sprioc miotail, sprioc cóimhiotail, sprioc cumaisc ceirmeach

De réir cur i bhfeidhm na difríochta roinnte ina sprioc ceirmeach a bhaineann le leathsheoltóir, taifeadadh sprioc ceirmeach mheán, sprioc ceirmeach taispeáint, sprioc ceirmeach a tharraingt siar agus sprioc ceirmeach ollmhéantéarachasachta

De réir réimse an iarratais, tá sé roinnte ina sprioc microelectronic, sprioc taifeadta maighnéadach, sprioc diosca optúil, sprioc miotail lómhara, sprioc resistive scannán tanaí, sprioc scannáin seoltóireachta, sprioc dromchla modhnaithe, sprioc masc, sprioc ciseal maisiúil, sprioc leictreoidí, sprioc pacáiste , sprioc eile

Prionsabal sputtering Magnetron: sa sprioc sputtering (catóide) agus an anóid idir réimse maighnéadach agus réimse leictreacha orthogonal a chur le chéile, Spriocanna Sputtering Miotail sa seomra folúis ard a líonadh leis an ngás táimhe riachtanach (de ghnáth Gás), maighnéad buan sa dírigh Dromchla an ábhair chun réimse maighnéadach de 250 ~ 350 Gaussian a chruthú, leis an réimse leictreachais ardvoltais atá comhdhéanta de réimse leictreamaighnéadach orthogonal. Faoi ghníomhaíocht an réimse leictreach, tá an gás ianaithe i ions dearfacha agus le leictreoin, cuirtear an sprioc le brú ard diúltach áirithe, go ndéanann an réimse maighnéadach difear do na leictreoin a astaítear as an sprioc agus gur dócha go n-ionchorpraítear an méadú ar ghás oibre , ina bhfuil plasma ard-dlúis i gcomharsanacht an Chomhlachta cathóide, na hIonraí i ról na bhfórsa Lorentz chun an eitilt a dhíriú go dtí an spriocdhromchla, Spriocanna Sputtering Miotail ag bombardú ardluais ar an spriocdhromchla, ionas go bhféadfaí spraeáil an leanann an atmaicphointe prionsabal na comhshó móiminteam le fuinneamh ard cinéiteach ón eitilt sprioc Déantar an tsubstráit a thaisceadh agus a thaisceadh. Tá sputtering Magnetron roinnte i dhá chineál i gcoitinne: sputtering aibhneacha agus RF sputtering, a bhfuil trealamh sputtering an albáin simplí, i sputtering miotail, tá a ráta chomh tapaidh freisin. Tá an úsáid a bhaint as spraeáil RF níos fairsinge, chomh maith le hábhar seoltóireachta sputtering, ach freisin ábhair neamh-seoltacha a sputtering, agus an Roinn ullmhúcháin imoibríoch ar ocsaídí, nítrídí agus cóbail agus comhdhúile eile. Má mhéadaíonn an minicíocht RF tar éis é a bheith ag sputtering plasma micreathonn, tá Spriocanna Sputtering Miotail a úsáidtear go coitianta le haghaidh athshondas leictreonacha athchúrsála (ECR) cineál plasma micreathonn.